Metrología de semiconductores

Precisión y exactitud excepcionales para medir el espesor y la composición de materiales, especialmente con elementos livianos. Las mediciones TXRF no destructivas son altamente sensibles a elementos traza, incluyendo Na, Mg y Al, metales de transición y elementos pesados. XRR, EDXRF y XRD para la caracterización de muestras ultrafinas y multicapa, en obleas en blanco y/o con patrones. HRXRD y XRR. Tensión, composición y espesor de capas epitaxiales, fase cristalina y textura de películas policristalinas. Espesores y densidad de películas delgadas y de pilas de películas.